高效過濾器檢漏的目的：通過對潔凈室已安裝好的高效過濾器進(jìn)行檢漏),確認(rèn)高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測試區(qū)域內(nèi)的潔凈室的潔凈度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴(yán)密形成微小裂縫，都會導(dǎo)致達(dá)不到預(yù)定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進(jìn)行檢漏。通過測試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補(bǔ)救措施 。

下面為高效過濾器檢漏步驟介紹

1、測試之前拆除空調(diào)箱的二級中效過濾器，將氣溶膠發(fā)生器放置在風(fēng)機(jī)的負(fù)壓段，并將其加熱到400℃。

2、將氣溶膠發(fā)生器的進(jìn)氣口與氮?dú)馄拷油?，緩慢打開氮?dú)馄砍隹跍p壓閥，使氮?dú)鈮毫Ρ３衷?.2～0.5Mpa左右，立即會產(chǎn)生氣溶膠顆粒。

3、穩(wěn)定一段時(shí)間后，在總送風(fēng)管測風(fēng)速處用氣溶膠光度計(jì)檢測氣溶膠濃度，即上游濃度值。所測氣溶膠濃度應(yīng)在10～20ug/L范圍內(nèi)。

4、測試下游氣溶膠顆粒之前，將氣溶膠濃度參比值設(shè)為上游測得的濃度值。用氣溶膠光度計(jì)采樣探頭對高效過濾器及其四周框架掃描檢漏。檢測時(shí)光度計(jì)探頭離開過濾器表面2～4cm，沿著過濾器內(nèi)邊框來回掃描檢漏，掃描速度3～5cm/s，掃描順序依次為括過濾器整個(gè)斷面、過濾器濾紙與框架之間、框架本身及其它安裝節(jié)點(diǎn)處。

5、檢漏時(shí)應(yīng)有兩人操作，一人在上面用光度計(jì)采樣探頭來回掃描過濾器，另一人在下面觀察光度計(jì)顯示數(shù)值，并做好記錄。

了解更多：如何降低高效過濾器本身的泄漏

包含：鈉焰法、油霧法、DOP 法、粒子計(jì)數(shù)法、熒光法。

2.2.1鈉焰法

該方法在1969年起源于英國，歐洲部分國家于20世紀(jì)70~90年代實(shí)行。目前在我國仍在使用，它的實(shí)驗(yàn)塵源為單分散相氣化鈉鹽霧。鈉焰法是根據(jù)鈉原子被氫氣火焰激發(fā)后發(fā)出波長為589nm的特征光，光的強(qiáng)度與氣溶膠質(zhì)量濃度成比例的原理，通過檢測被測過濾器前后光強(qiáng)度的比值來計(jì)算過濾器效率。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進(jìn)入風(fēng)道。在過濾器前后分別采樣， 含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍(lán)、亮度增加。以火焰的亮度來判斷空氣的鹽霧濃度，并以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率，主要儀器為光度計(jì)國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4μm,但對國內(nèi)現(xiàn)有裝置的實(shí)測結(jié)果為0.5μm。歐洲對實(shí)際實(shí)驗(yàn)鹽霧顆粒中徑的測量結(jié)果為該方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)有：英國BS3928-1969,歐洲Eurovent 4/4,中國GB6165-85。

鈉焰法只能檢測過濾效率小于5個(gè)9的過濾器，并且不同的鈉焰臺對同一系列過濾器的檢測表明鈉焰臺的效率測試結(jié)果往往相差偏大，另外鈉焰法測試會對過濾器造成鈉污染，用此方法進(jìn)行過測試的被測卨效過濾器在電子行業(yè)中的應(yīng)用有很大限制。隨著掃描法的普及，歐洲己經(jīng)不再使用鈉焰法，國內(nèi)有關(guān)部門正在修訂原有的國家標(biāo)準(zhǔn)。

2.2.2油霧法

該方法起源于德國，中國和前蘇聯(lián)也實(shí)行。塵源為油霧。以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。德國規(guī)定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3-0.5μm國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定油霧平均重量直徑為0.28-0.34μm,對油的種類未做具體規(guī)定。該方法在徳國已經(jīng)成為歷史，在國內(nèi)也只有部分生產(chǎn)濾材的廠家在測量過濾材料時(shí)使用。相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)有：中國GB6165-85,德國DIN24184-1990。

2.2 3 DOP 法

該方法曾經(jīng)是國際上測量高效過濾器最常用的方法，于1956年起源于美國， 曾被許多國家釆用，但在中國國家標(biāo)準(zhǔn)中未被采用。它的實(shí)驗(yàn)塵源為0.3μm單分散相鄰苯二甲酸—辛酯（DOP)液滴，也稱為“熱DOP”。將DOP液體加熱成 蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3μm左右的顆粒，進(jìn)入風(fēng)道。測量過濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過濾器 對0.3μm粉塵的過濾效率。測量儀器主要是光散射式光度計(jì)（photometer)。與此對應(yīng)的‘‘冷DOP”是指Laskin噴嘴（用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，飛濺產(chǎn)生霧態(tài)人工塵）產(chǎn)生的多分散項(xiàng)DOP粉塵，在對過濾器進(jìn)行掃描測試時(shí)，人們經(jīng)常使用冷DOP。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)有：MIL-STD-282-1956。

早期，人們認(rèn)為過濾器對0.3μm的粉塵最難過濾，因此規(guī)定使用0.3μm粉塵測量高效過濾器。DOP中含苯環(huán)，人們懷疑它致癌，因此許多實(shí)驗(yàn)室改用性能類似但不合苯環(huán)的替代物，如DOS。

2.2.4粒子計(jì)數(shù)法

該方法在歐洲通用，美國超高效過濾器測試也采用比較類似的方法。是目前國際上的主流測試方法。塵源為多分散相液滴，或確定粒徑的固體粉塵。有時(shí)， 過濾器廠商要按照用戶的特殊要求，使用大氣粉塵或其他特定粉塵。若測試中使用的是凝結(jié)核計(jì)數(shù)器，就必須使用粒徑已知的單分散相實(shí)驗(yàn)粉塵。主要測量儀器為大流量激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器（CNC）。用計(jì)數(shù)器對過濾器的整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗(yàn)，計(jì)數(shù)器給出毎點(diǎn)的粉塵的個(gè)數(shù)，還可以比較各點(diǎn)的局部效率》 歐洲的經(jīng)驗(yàn)表明，對于高效空氣過濾器，最易穿透的粉塵粒徑在0.1μm~0.25μm 之間的某一點(diǎn)，先確定測試條件最易穿透粉生粒徑，然后連續(xù)掃描測量過濾器對該粒徑粉塵的過濾器效果，歐洲將這種方法稱為MPPS法。美國標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定只測最 0.l~0.2nm區(qū)間的顆粒。該方法的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)有：歐洲EN1882-1998~2000,美國 IES-RP-CC007.1-1992。

2.2.5熒光法
只有法國使用目前僅限于對部分核工業(yè)過濾器的測試。試驗(yàn)塵源為噴霧器產(chǎn)生的熒光素鈉粉塵。試驗(yàn)中，首先在過濾器前后采樣，然后用水溶解采樣濾紙上的熒光素鈉，再測景含熒光素鈉水溶液在特定條件下的熒光亮度，這一亮度間接地反映出粉塵的重竜。以過濾器前后樣品的熒光克度差別來判斷過濾器效率發(fā)塵裝置產(chǎn)生的粉塵粒徑的計(jì)數(shù)乎均值為0.08μm粒徑的體積平均值為0.15μm。

本文出處：基于歐洲1822標(biāo)準(zhǔn)的高效空氣過濾器全效率測試臺及掃描測試臺的研制

隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展，對電子工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境中的懸浮微粒的控制越來越嚴(yán)格，使得空氣過濾產(chǎn)業(yè)面臨著巨大的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。目前國內(nèi)現(xiàn)行的高效、 超高效過濾器性能測試國家標(biāo)準(zhǔn)的鈉焰法、油霧法由于種種缺陷己不能滿足實(shí)際發(fā)展的需要。因此有必要參考相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)研制新型高效、超高效空氣過濾器性能檢測系統(tǒng)，解決國內(nèi)高效空氣過濾器質(zhì)量檢測手段落后的現(xiàn)狀。

本檢漏系統(tǒng)以歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822為綱領(lǐng)，同時(shí)借鑒日本J1SB9908標(biāo)準(zhǔn)及美 國IEST標(biāo)準(zhǔn)，分別搭建了高效（超高效）過濾器全效率測試臺和掃描測試臺。整套系統(tǒng)可以測量高效空氣過濾器的最易穿透粒徑效率和局部效率。鑒于國外高效過濾器檢測系統(tǒng)的自動化程度比國內(nèi)要高出一定水平，通過引入步進(jìn)電機(jī)等自動化儀器儀表自行開發(fā)了該檢測臺的自動控制系統(tǒng)和系統(tǒng)控制軟件，使該檢測臺自動化程度高，功能全面。本檢測系統(tǒng)在前人工作的基礎(chǔ)上重新設(shè)計(jì)了掃描結(jié)構(gòu)和掃描程序，實(shí)現(xiàn)了掃描臺的實(shí)用性。

本文重點(diǎn)介紹檢測臺的制作，設(shè)備選型，自動控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。通過新型高效濾器性能檢測實(shí)驗(yàn)臺的研制.獲得一些有價(jià)值的數(shù)據(jù)資料。本檢測系統(tǒng)的建成為國內(nèi)過濾器生產(chǎn)商提供了一套保證其產(chǎn)品質(zhì)量的有利T工具，對今后的過濾器自動檢測系統(tǒng)的設(shè)計(jì).和制造有一定的指導(dǎo)意義。

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文章來源：基于歐洲1822標(biāo)準(zhǔn)的高效空氣過濾器全效率測試臺及掃描測試臺的研制

高效過濾器檢漏分為出廠檢測和現(xiàn)場檢測兩種。

出廠檢測：即為過濾器廠家在做好的高效過濾器時(shí)對其進(jìn)行的檢測，檢測合格才出廠。

現(xiàn)場檢測：主要是針對過濾器的一些出廠數(shù)據(jù)進(jìn)行核實(shí)、檢測。

高效過濾器檢漏的目的：通過對潔凈室已安裝好的高效過濾器進(jìn)行PAO檢漏(高效過濾器檢漏PAO的掃描方法),確認(rèn)高效過濾器的完整性及密封性，從而確保測試區(qū)域內(nèi)的潔凈室的潔凈度。

延伸：高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴(yán)密形成微小裂縫，都會導(dǎo)致達(dá)不到預(yù)定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進(jìn)行檢漏。通過測試高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補(bǔ)救措施 。

工作原理：在被檢測高效過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)生PAO氣溶膠作為塵源，在下風(fēng)側(cè)用光度計(jì)采樣檢測，含塵氣體經(jīng)過光度計(jì)時(shí)產(chǎn)生的散射光經(jīng)光電效應(yīng)和線性放大轉(zhuǎn)換為電量，并由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計(jì)的擴(kuò)散室，由于粒子擴(kuò)引起燈光強(qiáng)度的差異，經(jīng)測定這個(gè)光強(qiáng)度，光度計(jì)便可測得氣溶膠的相對濃度。PAO檢漏法中測得的是高效過濾器的穿透率，即光度計(jì)直接顯示穿透率讀數(shù)。

藥廠PAO檢測產(chǎn)品一般為：液槽高效過濾器、DOP液槽高效送風(fēng)口、DOP液槽FFU、百級層流傳遞窗等產(chǎn)品。

目前針對高效過濾器檢漏PAO的檢測設(shè)備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計(jì)掃描（photometer scanning）和顆粒計(jì)數(shù)器掃描（particle counter scanning）。當(dāng)然兩種檢測設(shè)備也是各有優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)的，本文摘自EN-SIO-14644-3的一些相關(guān)信息。

1、氣溶膠光度計(jì)掃描的缺點(diǎn)：

光度計(jì)的精度較顆粒計(jì)數(shù)器差，所以只能測試HEPA高效過濾器，ULPA超高效過濾器只能用顆粒計(jì)數(shù)法。

2、氣溶膠光度計(jì)掃描的優(yōu)點(diǎn)：

光度計(jì)使用方便、檢測結(jié)果易于判斷、對泄露檢測比較敏感，所以在現(xiàn)場檢漏中應(yīng)用比較廣泛，藥廠多用此法做現(xiàn)場測試。

一般來講在做氣溶膠光度計(jì)掃描法時(shí)，其上游的濃度是做顆粒計(jì)數(shù)器掃描時(shí)的100到1000倍。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.2）

氣溶膠光度計(jì)掃描法（photometer scanning）與顆粒計(jì)數(shù)器掃描法（particle counter scanning）做為高效過濾器檢漏測試都可行并有相關(guān)測試標(biāo)準(zhǔn)，但測試結(jié)果沒有直接的可比性。（摘自：EN-SIO-14644-3-B.6.1.1）

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直達(dá)PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測試PAO法

小知識：為什么要對高效過濾器現(xiàn)場測試？

通常，過濾器通過出廠檢驗(yàn)，由過濾器廠商提供測試報(bào)告，由此證明過濾器符合客戶現(xiàn)場需求。但是，客戶如何能夠更準(zhǔn)確清晰的了解過濾設(shè)備在現(xiàn)場使用環(huán)境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時(shí)候，就必須要通過對過濾設(shè)備進(jìn)行現(xiàn)場檢測，以確認(rèn)其能夠達(dá)到用戶需求及供應(yīng)商報(bào)告所顯示的過濾效果。

根據(jù)對PAO的檢測設(shè)備不同，高效過濾器檢漏PAO的掃描方法可以分為兩大類：氣溶膠光度計(jì)掃描（photometer scanning）和顆粒計(jì)數(shù)器掃描（particle counter scanning）。

1、使用氣溶膠光度計(jì)掃描（photometer scanning）

便攜式數(shù)字光度計(jì)規(guī)格

大小:25.7 cm × 33.0 cm × 15.2 cm

重量:21.8Kg，其中主機(jī)8.6Kg

電源:100-250V，50/60Hz，0.25 amps @ 240V

自動歸零:啟動時(shí)自動零讀數(shù)

報(bào)警:超過設(shè)置點(diǎn)時(shí)，有聲音、視覺和震動報(bào)警

流速控制:寬脈沖調(diào)節(jié)能使流速控制在1cfm (28.3lpm) +/- 10%

氣溶膠設(shè)置:PAO-4, DOP,

動態(tài)范圍:最高到600微克/升

靈敏度:讀數(shù)的1%（讀數(shù)在0.01%到100%之間）

重復(fù)性:讀數(shù)的0.5%（讀數(shù)在0.01%到100%之間）

光源:穩(wěn)定的固態(tài)光源

數(shù)據(jù)輸出:USB

報(bào)告:連續(xù)、摘要模式

打印機(jī)附件:熱敏打印機(jī)提供摘要報(bào)告和端口

產(chǎn)品應(yīng)用:潔凈房,層流臺,生物安全柜,手套箱, HEPA吸塵機(jī), HVAC系統(tǒng), HEPA過濾器,負(fù)壓過濾裝置手術(shù)室,核子過濾系統(tǒng),科研。

此法主要是用氣氣溶膠光度計(jì)對過濾器上游及下游PAO的濃度進(jìn)行測定，從而確定過濾器是否泄漏。在進(jìn)行測試時(shí)上游濃度控制在10ug/L-100ug/L之內(nèi)聯(lián)樣控頭距離過濾器不超過25.4mm,掃描速度不能超過50mm/s(EN-ISO-14644-3)。在醫(yī)藥行業(yè)中有同樣的要求，如YY0569-2005生物安全柜。

2、使用顆粒計(jì)數(shù)器掃描（particle counter scanning）

高效過濾器檢漏PAO的掃描方法使用顆粒計(jì)數(shù)器掃描，以顆粒數(shù)來表達(dá)過濾器上下游（個(gè)/m3，個(gè)/ft3），從而計(jì)算高效空氣過濾器的局部效率，判斷過濾器是否泄漏。

主要技術(shù)參數(shù)：

采樣量：2.83L/min

檢測范圍：100級～30萬級

判斷凈化級別：自動判斷凈化級別

粒徑通道：0.3、0.5、1、3、5、10(μm)，六檔粒徑同時(shí)顯示

采樣周期：1～10(min)

自凈時(shí)間：≤10（min)

公英制換算：有公英制換算

打印功能：內(nèi)置打印機(jī)

工作環(huán)境溫度：10～35℃　　相對濕度：≤75%RH

連續(xù)工作時(shí)間：8小時(shí)

帶計(jì)數(shù)超限報(bào)警：100級、1000級、10000級、100000級、300000級

電源 功耗：AC 220V 50Hz 15w

外形尺寸（寬×高×深）：203×120×250（mm)

重量（kg)：2.6(kg)

數(shù)據(jù)存儲：246組

顯示方式：高清晰大屏幕液晶屏顯示（LCD）

光源及壽命：半導(dǎo)體激光光源＞30000小時(shí)

隨機(jī)附件：說明書、合格證、檢測報(bào)告、保修卡、等動力采樣頭、采樣管、三角架、打印紙、精美鋁箱

具體的測試方法可以參考EN-ISO-14611-3或IEST-RP-CC034.1。

了解更多知識：高效過濾器檢漏

直達(dá)PAO檢漏法介紹：高效過濾器檢漏測試PAO法

高效過濾器的現(xiàn)場檢漏中通常采用PAO，發(fā)生器在過濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)（photometer）、顆粒計(jì)數(shù)器（particle counter）檢測上下游氣溶膠濃度來判定過濾器是否泄漏。

PAO發(fā)生器可分為熱發(fā)生和冷發(fā)生兩種：

1、熱發(fā)生器是利用蒸發(fā)冷凝的原理，被霧化的氣溶膠粒子用加熱器蒸發(fā)，并在特定條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3um左右的霧狀PAO進(jìn)入風(fēng)道，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.3左右，但因蒸發(fā)效應(yīng)，其真實(shí)粒徑分布在0.1-0.3um。該方法主要用在過濾器穿透效率測試（Penetration test）中，如MIL-STD-282。

2、冷發(fā)生器是指利用壓縮空氣在液體中鼓氣泡，經(jīng)laskin噴管飛濺產(chǎn)生物態(tài)的多分散相PAO氣溶膠，其MMD（mass median particle diameter）粒徑為0.5-0.7um左右（EN-ISO 14644-3-B.6.2.2）,CMD（count mean diameter）為0.3um左右（IEST-RP-CC021.1）,且粒徑分布較熱發(fā)生器要寬，成正態(tài)分布。該方法主要用在對過濾器的掃描檢漏（Scan test）。如IEST-PR-CC034.1,EN-ISO-14644-3,EN1822-4（參考：EN 1822對高效過濾器效率等級規(guī)定）。

小知識：為什么要對高效過濾器現(xiàn)場測試？

通常，過濾器通過出廠檢驗(yàn)，由過濾器廠商提供測試報(bào)告，由此證明過濾器符合客戶現(xiàn)場需求。但是，客戶如何能夠更準(zhǔn)確清晰的了解過濾設(shè)備在現(xiàn)場使用環(huán)境下，依舊能夠保持廠商出廠所作的保證呢？這時(shí)候，就必須要通過對過濾設(shè)備進(jìn)行現(xiàn)場檢測，以確認(rèn)其能夠達(dá)到用戶需求及供應(yīng)商報(bào)告所顯示的過濾效果。

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